Simco-Ion, Technology Group的最-新Modulated Pulse (MP) Technology電離棒現(xiàn)在可以通過Novx系統(tǒng)和Novx Inside版本進(jìn)行主動(dòng)監(jiān)控和反饋控制。5645 MP棒專為半導(dǎo)體后端先-進(jìn)封裝和測(cè)試應(yīng)用以及前端需要超清潔環(huán)境的應(yīng)用而設(shè)計(jì)，具有快速放電時(shí)間、低擺動(dòng)電壓和精確平衡的行業(yè)領(lǐng)-先平衡電離性能。這項(xiàng)先-進(jìn)技術(shù)使AeroBar能夠在離晶圓150毫米以內(nèi)安裝。

當(dāng)與Novx System或Novx Inside安裝時(shí)，監(jiān)控和反饋控制，5645可以比±5V更好地保持精確平衡。該條桿可以輕松調(diào)整和微調(diào)電壓、頻率和平衡，以滿足環(huán)境和產(chǎn)品敏感度要求。5645 MP條桿有14種長(zhǎng)度可供選擇，從350-2350毫米。

±5V 與 Novx 系統(tǒng)或 Novx Inside 版本
ISO 14644-1 3級(jí)
集中化電力和控制，使用廣泛可調(diào)的MP控制軟件
傳感器輸入、FMS連接、報(bào)警、電源和通信位于酒吧的同一端。
美國(guó)SIMCO思美高M(jìn)P 5V 離子發(fā)生器

規(guī)格

電壓	輸入：24 VDC ±10%，最-大0.7A 輸出：13.5 kV 峰峰值（最-大）
排放	15秒（典型）在距AeroBar中心24英寸處測(cè)量，無氣動(dòng)輔助
余額	<±5V，Novx系統(tǒng)或Novx內(nèi)部；<±20V，獨(dú)立式
離子發(fā)射	調(diào)制脈沖 (MP) 技術(shù)
發(fā)射器	鈦
潔凈室等級(jí)	ISO 14644-1 3級(jí)
維度	3.1英寸高 x 1.3英寸寬 x 13.8 / 17.7 / 23.6 / 33.5 / 39.3 / 45.3 / 51.2 / 57.1 / 63.0 / 69.0 / 74.8 / 80.7 / 86.6 / 92.5英寸長(zhǎng) (7.8 x 3.4 x 35 / 45 / 60 / 85 / 100 / 115 / 130 / 145 / 160 / 175 / 190 / 205 / 220 / 235 厘米)