Simco-Ion, 技術(shù)集團(tuán)的 In-line Ultra-clean Nitrogen Ionizer Model 4214 是專門設(shè)計(jì)用于對(duì)超凈半導(dǎo)體或其他高純度過程中的氮?dú)饬鬟M(jìn)行離子化的。與其他依賴氮?dú)饬髦械暮哿繗怏w來產(chǎn)生離子化的氮?dú)怆x子化器不同，這款產(chǎn)品使用一個(gè)小巧但高效的電源來離子化氮分子。

擴(kuò)展ISO 1級(jí)潔凈度
警報(bào)指示離子輸出低（需要維護(hù)）、高壓電源故障和氣體流量低
待機(jī)模式
自平衡電離
低氣體流量自動(dòng)關(guān)閉
緊湊尺寸
+24 VDC 輸入電源

SIMCO思美高串行氣體離子發(fā)生器超凈環(huán)境

規(guī)格

輸入電壓	+24 VDC，±5% @ 0.25 A，6W（典型）
排放	無歧管：±1000-100V，典型值小于10秒，測(cè)量點(diǎn)為6英寸（15.2厘米）至CPM，氮?dú)饬髁繛?.4 cfm @ 5.3 psi（40 lpm @ 36.5 kPa）帶歧管：±1000-100V，典型值小于100秒，測(cè)量點(diǎn)為19.6英寸（49.8厘米）帶有定制歧管
余額	±25V或更低范圍，無輸出歧管
離子發(fā)射	高頻交流技術(shù)
潔凈室等級(jí)	ISO 14644-1 Class 1 (0.1 微米顆粒) & 擴(kuò)展ISO Class 1 (0.01 微米顆粒)
維度	6.01英寸長(zhǎng) x 2.86英寸寬 x 1.26英寸高 (15.2 x 7.26 x 3.20 厘米) 不帶歧管
重量	1.4 磅（0.64 公斤）無歧管